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HORIBA研究级经典型椭偏仪UVISEL概述
20多年技术积累和发展的结晶,是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型。即使在透明的基底上也能对超薄膜进行樶精确的测量。采用PEM相位调制技术,与机械旋转部件技术相比,能提供更好的稳定性和信噪比。
技术参数:
可选光谱范围:
* UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)
* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )
* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )
* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )
* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )
* 多种实用微光斑尺寸选项
* 探测器:分别针对紫外,可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器
* 自动样品台尺寸:多种样品台可选
* 自动量角器:变角范围35° – 90°,全自动调整,最小步长0.01°
HORIBA研究级经典型椭偏仪UVISEL特点
★ 50KHz 高频PEM 相调制技术,测量光路中无运动部件
★ 具备超薄膜所需的测量精度,超厚膜所需的高光谱分辨率
★ 具有毫秒级超快动态采集模式,可用于在线实时监测
★ 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件
★ 配置灵活