日本日立可变压力扫描电子显微镜SU6600概述

该显微镜采用可变压力(VP)技术，除了具有高分辨率成像和样品物性表征特性外，还支持X 射线能谱仪， X射线波谱仪以及电子背散射衍射系统进行各种样品分析。在可变压力模式下，操作者可改变样品室的真空状态由高真空状态改为低真空状态。

电子枪：ZrO/W肖特基场发射电子枪

分辨率：1.2 nm /30 kV，3.0 nm /1 kV

探针电流：1pA~200nA

样品仓压力：10-4Pa(高真空), 10~300Pa(低真空)

样品尺寸：樶大直径150 mm×高40 mm

日本日立可变压力扫描电子显微镜SU6600特点

★ 樶大200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
★ 配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
★ 配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
★ 大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
★ 可装载150mm直径、40mm高样品
★ 电脑控制的5轴优中心马达样品台