高频阻抗分析仪的维护：

　　注意不要把已充电的电容器或内部电路作为被测件，防止损坏仪器。

　　终端用后保持连接套筒螺丝伸出，以防终端表面损坏。

　　测试端口在平时不测量时用保护套套上。

　　仪器的测试端口表面、终端、夹具需要保持不受灰尘、油等的污染，以免接口接触不良，还需定期用挥发性的溶剂清洗或使用棉绒布擦拭。注意不要用四氯化碳、高浓度的乙醇等，接触清洗液的时间要尽可能短。

　　对仪器需要外送进行检定时，建议条件允许，请检定机构上门服务（因标准便于携带），减小仪器的振动。

高频阻抗分析仪的技术要求与低频阻抗测量仪在设计技术上使用电路及机械结构等方面明显不同（包括测试电缆，自动平衡电桥和其他电路设计）。残余阻抗，相位漂移，传输损耗和“集总常数测量电路”结构容易产生有害的影响，在高频矢量测量中是无法确定的因素。

　　而且这些影响随测试频率升高而增加，产生明显的测量误差，至使测量范围变窄。这样，在高频范围矢量测量中方便的方法是用“分布常量测量电路“其优点是可以实现在宽的频率范围内电路性能不变，测量电路检测的矢量信号能用简单的数学式精密表示。将信号加到连接在测试端口的试样上，检测试样反射波与入射波的矢量电压比来测量反射系数，通过反射系数与阻抗的关系导出试样要求的参数，代替了低频阻抗仪器的矢量电压电流比率的测量方法。