高频阻抗分析仪的技术要求与低频阻抗测量仪在设计技术，使用电路及机被结构等方面明显不同（包括测试电缆，自动平衡电桥和其他电路设计）。残余阻抗，相位漂移，传输损耗和“集总常数测量电路”结构容易产生有害的影响，在高频矢量测量中是无法确定的因素。而且这些影响随测试频率升高而增加，产生明显的测量误差，至使测量范围变窄。这样，在高频范围矢量测量中方便的方法是用“分布常量测量电路”。其优点是可以实现在宽的频率范围内电路性能不变，测量电路检测的矢量信号能用简单的数学式准确表示。

　　高频阻抗分析仪的基本测量操作是：

　　（1）按下电源开关键后，仪器A显示部分指示HP一IB地址，B显示部分指示选配件通告符号（如hr），此时仪器在进行温度控制电路的稳定，内部定时器延时工作10min，预热工作期间，仪器连续显示以上符号。进行10min预热后，自动转到测试状态。

　　（2）如果要求测试精度，最少预热40min。之后使用参考终端阻抗在APC-7同轴接头对仪器进行初始校准，来消除仪器的系统误差对测量结果的影响。本身的校准件分别为：OQ的短路器，OS的开路器，50Ω的负载终端。首先注意上校准件前一定要保证仪器的测量端APC-7精密测头的清洁和干燥，然后按照自动校准的程序依次接入相应的终端，在使用频率范围内进行校准。测量准确性实际上取决于使用校准终端的准确性，即由校准的准确性控制。所以一定不能忽视测量前的仪器校准这一过程。

　　（3）根据被测件的形状和测试频率选择合适的测试夹具，装上夹具后，设置测试条件，必须同时输入与测试夹具相应的电长度值（这是为了修正夹具对反射系数及相位的影响）。在实际测试中，夹具固有的残余参量引起的测量误差应予以考虑，确保测量的准确性，夹具参量必须进行修正，他的影响在高频段明显。